納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試，測試結果通過力與壓入深度的曲線計算得出，無需通過顯微鏡觀察壓痕面積。
納米壓痕儀主要用于測量納米尺度的硬度與彈性模量，可以用于研究或測試薄膜等納米材料的接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、應力-應變曲線、疲勞、存儲模量及損耗模量等特性。可適用于有機或無機、軟質或硬質材料的檢測分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學薄膜，微電子鍍膜，保護性薄膜，裝飾性薄膜等等。基體可以為軟質或硬質材料，包括金屬、合金、半導體、玻璃、礦物和有機材料等
納米壓痕技術是測量納米機械屬性的一個關鍵技術。雖然準靜態納米壓痕支持利用負載位移曲線表征應力和應變關系，但是它需要大量的測試才能深入了解材料的行為。動態測試可以揭示材料剛度與深度的關系，允許復雜的分析。如果使用準靜態試驗，這些分析需要成千上萬次的試驗。
納米壓痕儀利用電磁驅動頭和解耦的電容位移計來分別測量力和位移。這提供廣泛的力和位移動態范圍，可進行從納米到毫米的變形分析。本設計具有杰出的控制能力，而這種控制能力對于完成薄膜、納米材料、MEMS和其它器件結構的實驗是至關重要的。
